當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > CVD、PECVD設(shè)備 > CVD管式爐 > OTF-1200X-4-R-II-AF1200℃ 4英寸雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管式爐
簡(jiǎn)要描述:OTF-1200X-4-R-II-AF是一款4英寸雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管,安裝有自動(dòng)送料器和收料罐。自動(dòng)可定份額地將粉料送入到爐管中,此過程可在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行,可實(shí)現(xiàn)用連續(xù)CVD方法對(duì)粉體材料進(jìn)行包覆和修飾。收料罐可在氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)處理好的粉料進(jìn)行收集。此款管式爐設(shè)計(jì)主要是在鋰離子電池的陰極材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆導(dǎo)電層,同時(shí)也可用CVD方式制備 Si/C 陽(yáng)極材料。
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OTF-1200X-4-R-II-AF是一款雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)管式爐,安裝有自動(dòng)送料器和收料罐。自動(dòng)可定份額地將粉料送入到爐管中,此過程可在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行,可實(shí)現(xiàn)用連續(xù)CVD方法對(duì)粉體材料進(jìn)行包覆和修飾。收料罐可在氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)處理好的粉料進(jìn)行收集。此款管式爐設(shè)計(jì)主要是在鋰離子電池的陰極材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆導(dǎo)電層,同時(shí)也可用CVD方式制備 Si/C 陽(yáng)極材料。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) |
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自動(dòng)送料器 |
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加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
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爐管&密封法蘭 |
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工作溫度 |
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溫控系統(tǒng)&熱電偶 |
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爐管轉(zhuǎn)動(dòng)速度 | 0 - 10 RPM(可調(diào)) | ||||
傾斜角度 | 左: 0~30°: 右: 0~15° | ||||
極限真空度 | 4.5x10-2 torr(采用機(jī)械泵) | ||||
功率 |
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電壓 | AC208 - 240V 單相 (需要30 A的空氣開關(guān)) | ||||
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含爐管,密封圈和加熱元件) | ||||
質(zhì)量認(rèn)證 |
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儀器尺寸 |
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凈重 | 125kg | ||||
應(yīng)用 |
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警告 |
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