97超碰在线播放,777影院理伦片片,亚洲日韩AV无码中文字幕美国,国产精品,日韩在线

咨詢熱線

18255163376

當前位置:首頁   >  產品中心  >  CVD、PECVD設備  >  PECVD管式爐  >  -OTF-1200X-50-PE-SPECVD管式爐

PECVD管式爐

簡要描述:OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統(tǒng)。此套設備帶有500W的等離子射頻電源,一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個直聯(lián)式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD 系統(tǒng)。對于有限的經費的情況下來進行材料探索,此套系統(tǒng)極為理想。

  • 產品型號:-OTF-1200X-50-PE-S
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-02-10
  • 訪  問  量:7145

詳細介紹

OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統(tǒng)。此套設備帶有500W的等離子射頻電源,一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個直聯(lián)式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD  系統(tǒng)。對于有限的經費的情況下來進行材料探索,此套系統(tǒng)極為理想。

 

特征:

1、與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進行氣相沉積實驗

2、對于薄膜的應力可以通過射頻電源的頻率來進行控制

3、通過工藝調節(jié)來控制化學計量

4、能夠廣泛地用于各種材料沉積,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等.

 

技術參數

開啟式管式爐

  • 輸入電源:208 – 240V AC, 1.2kW
  • zui高工作溫度1200℃(小于1小時)
  • 連續(xù)使用溫度1100
  • 采用高純氧化鋁作為爐膛材料,并且表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層,可延長儀器使用壽命和提高加熱效率
  • 高純石英爐管,尺寸為 50mmOD x 44mmID x  780mmL
  • 可設置30段升降溫程序,并帶有過熱和斷偶保護
  • 加熱區(qū)長度為200mm,恒溫區(qū)長度為60mm(+/-1°C)

      
                 
    (點擊圖片查看詳細資料)

等離子體射頻電源

  • 輸出功率: 5 -500W可調
  • 穩(wěn)定性為+/-1%
  • 射頻電源頻13.56 MHZ, 穩(wěn)定性±0.005% 
  • zui大反向功率: 200W max
  • 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體陰極
  • 噪聲<50 dB.
  • 冷卻方式:空氣冷卻
  • 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz  
     

真空法蘭和接頭

  • 真空法蘭采用304不銹鋼制作
  • 左端法蘭上安裝有防腐型數字真空計、不銹鋼針閥和一個球閥。
  • 右端法蘭設計為KF25接口,上面配有泄氣閥,擋板閥和兩個KF25卡箍
  • 儀器中所配的數字真空計,可以不用因使用氣體的不同而進行校正,同時還具有防腐功能(請點擊圖片查看詳細介紹)

      

真空泵

  • AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
  • 2L/s
  • 與本公司管式爐配套使用,可使其真空度達到10-2 torr
  • 進氣端帶有儲氣球(防止回油),出氣端安裝有油霧過濾器(防止油霧擴散到空氣中,保護環(huán)境和人體健康)
     

產品尺寸和重量

外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)

凈重: 160 lbs

可選配置

請點擊查看下面的混氣及氣液混合系統(tǒng)

  • 防腐型小型三路浮子混氣系統(tǒng)
  • 精密氣液混合系統(tǒng)
  • 三路質子混氣系統(tǒng)

質保期

一年質保期,終生維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

質量認證

CE Certified

 

產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7

聯(lián)系我們

中美合資合肥科晶材料技術有限公司 公司地址:安徽省合肥市蜀山區(qū)科學院路10號   技術支持:化工儀器網
  • 聯(lián)系人:朱沫浥
  • QQ:2880135211
  • 公司傳真:86-551-65592689
  • 郵箱:zhumoyi@kjmti.com

掃一掃 更多精彩

微信二維碼

網站二維碼

国产欧美一区二区三区精品酒店| ]人妻无码AⅤ不卡中文字幕| 国产高清在线观看av片麻豆| 九九精品99久久久香蕉| 麻豆人妻无码性色AV专区| 少妇性活BBBBBBBBB四川| 亚洲中文字幕久久精品蜜桃| 污污精品视频网站在线观看| 久久久久久自慰出白浆| 人妖网址| 亚洲午夜在线| 日韩天堂| 18禁止午夜福利体验区| 国产精品综合AV一区二区国产馆| 无码一区二区三区亚洲人妻 | 在线永久无码不卡av| 久久九九国产精品怡红院| 黄页网站免费频道大全| 九色福利导航| 亚洲区av| 陕西省| 久久亚洲精品无码AV红樱桃| 99国产欧美另娄久久久精品 | 湘潭市| 无码国产精品一区二区VR老人 | 久久国产热精品波多野结衣AV| 日本丰满少妇高潮呻吟| 在线观看无码av免费不卡网站 | 免费无码成人AV在线播放不卡| 亚洲午夜福利在线观看| 欧美成人A在线网站| 亚洲精品午夜久久久久久久灵蛇爱 | 太紧了夹得我的巴好爽| 免费人成视频X8X8入口| 丁香六月| 亚洲激情五月| 阳高县| 高清性色生活片97| 国产VA在线观看免费| 亚洲av无码一区二区三区天堂网| 欧美亚洲精品一区二区三区|